影响等离子体清洗效率的因素

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等离子体是一种电中性、高能量、全部或部分离子化的气态物质，包含离子、电子、自由基等活性粒子。借助高频电磁振荡、射频或微波、高能射线、电晕放电、激光、高温等条件产生。等离子体清洗是通过其所含的活性粒子与污染物分子反应使其从固体表面分离来进行的。是一种干式清洗技术，能够替代传统的湿法清洗技术。能够在不破坏材料表面特性的前提下，有效清除材料表面的微尘及其它污染物。

影响等离子体清洗效率的因素主要有以下几点：

(1) 电极：电极放电面积越大，电极间距越小，清洗效率越高。

(2) 压强：工作压强越大，等离子体密度越高，清洗速率越快。

(3) 功率：等离子放电功率越大，对工件表面的清洗强度越大。

(4) 时间：清洗时间的长短会直接影响到等离子体对工件的清洗效果以及工作效率。

(5) 速度：处理连续传动的工件时，工件与电极的相对移动速度越慢，处理效果越好。

(6) 气体：待处理工件的基材及其表面污染物具有多样性，因此有针对性地选择等离子体的工作气体十分重要。不同气体放电所产生的等离子体清洗速度和清洗效果可相差几倍甚至几十倍。

(7) 其他：等离子体清洗工艺中的气体分配、气体流量、电极设置等参数也会影响清洗效果。因此需要根据实际情况和清洗要求设定具体的、适合的工艺参数。

等离子清洗机

来源：千龙新闻网